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不久前，清华大学天津电子信息研究院高端光电子芯片创新中心揭牌成立。10月17日，记者来到清华大学天津电子信息研究院看到，800平米的超净间实验室已开始正常运转，已经有多个项目进行着产业化研发工作，打造未来的中国“芯”。
光电子芯片创新中心负责人曲迪：
“中心不仅面向院里的孵化企业，也面向有新产品研发需求的企业，基本上制作光电芯片需要用到的基础性实验设备都可以提供。”
作为中新天津生态城科技园的入驻企业，清华大学天津电子信息研究院高端光电子芯片创新中心引进目前世界最先进的电子束直写设备(EBL)，该设备是国内唯一的电子束直写设备，可直写10纳米量级的图形。同时，还拥有当今最先进的聚焦离子束显微镜，同时还有薄膜沉积、等离子蚀刻、电子束蒸发等光电芯片研发设备，代表了微纳加工和结构、材料表征的世界顶级水平。
媒体来源：津滨网
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发表于 2018-10-18 21:15:58
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