洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级
GB50073-2001
级别(N) 最高浓度极限(颗粒数/m3) 近似对应
传统规格
0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 1.0μm 5.0μm
ISO 1级 10 2
ISO 2级 100 24 10 4
ISO 3级 1,000 237 102 35 8 1级
ISO 4级 10,000 2,370 1,020 352 83 10级
ISO 5级 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29 100级
ISO 6级 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293 1,000级
ISO 7级 352,000 83,200 2,930 10,000级
ISO 8级 3,520,000 832,000 29,300 100,000级
ISO 9级 35,200,000 8,320,000 293,000
|